Намаляването на стъпката на проектиране при полупроводниковата литография налага по-внимателно разглеждане на обещаващите материали чак до анализа на разположението на отделните атоми. С тази задача обикновено се справя сканиращият тунелен микроскоп. Но възможностите му не са неограничени и в...
