Русия разработва собствени литографски скенери

В края на миналата година Министерството на промишлеността и търговията отпусна 5,7 милиарда рубли за разработването на руски литографски скенери. Наскоро стана известно, че Зеленоградският нанотехнологичен център (ЗНТЦ) е започнал проектантската работа по тази поръчка.

Центърът е подписал два договора с Министерството на промишлеността и търговията: единият за разработване на скенери с ниво на топология до 350 nm, вторият – до 130 nm. По този начин Русия ще започне изцяло да използва собствени фотолитографски технологии, които ще заместят вносните, като първоначално това ще са тези, които се използват в момента в заводите на Зеленоград.

Серийното производство на 350 nm фотолитографски степери се очаква да започне през 2025 година. Ще се използва серийно произвеждан руски полупроводников лазер. Според договора, проектът на скенера и неговият прототип трябва да бъдат готови до края на 2024 година, включително цялата документация за стартирането на масовото производство на агрегата.

Разработването на 130 nm скенер ще бъде завършено една година по-късно. За този скенер от нулата ще бъде създаден нов руски 193-nm лазер. Идеята е да не се използват каквито и да било вносни компоненти, по-точно лазерите на американската компания Cyber, които сега масово се употребяват в руските полупроводникови фабрики.

Руският литографски скенер ще може да бъде усъвършенстван за производството на 65 nm полупроводникови продукти. По този начин страната се опитва да избегне всевъзможните санкции относно доставките на подобно оборудване.