Белгийският изследователски център Imec се похвали с придобиването на най-новия EUV-скенер на ASML — TWINSCAN EXE:5200 с висока числена апертура от 0,55 (High Numerical Aperture). Скенерът ще осигури безпрецедентна резолюция за производството на полупроводници, гарантирайки силно търсене на тези...
