Руските 193 nm литографи ще се появят след около 2 години и ще работят по старомодния начин

В интервю за кореспондент на ТАСС Генадий Красников, президент на Руската академия на науките заяви, че руските 193 нанометрови литографски скенери за производство на съвременни чипове ще се появят след около две години. Освен това ученият отбеляза, че съоръженията ще се основават на класически ексимерни светлинни източници, а не на полупроводникови лазери с всички свързани с това предимства.

В края на март стана известно, че руски и беларуски изследователи съвместно са създали литографски скенер с дължина на вълната 350 nm. Класическите литографи от последните десетилетия използваха живачни лампи с дължина на вълната 365 nm като източник на светлина за такива резолюции. Руско-беларуската разработка разчита на усъвършенстван твърдотелен източник на светлина – лазер, който прави скенера по-компактен, ефективен и рентабилен.

Може да се очаква, че по-нататъшното намаляване на дължината на вълната и подобряването на разделителната способност на проекцията ще следват същия път. Засега обаче това няма да се случи.

Както признава Красников, сега учените работят с ексимерни източници на светлина на базата на смес от благородни газове – по-специално с източници с дължина на вълната 248 nm, а в близко бъдеще и с класически 193 nm лазери.

Това е път, който вече е извървян от световните производители на литографско оборудване и е надежден като швейцарски часовник. Газовите лазери отстъпват на полупроводниковите по отношение на общата производителност, но те вече са в състояние да осигурят това, което твърдотелните лазери няма да могат да направят още дълго време – мощност на излъчване, достатъчна за висока производителност на литографските инсталации.

Обнадеждаващо е съобщението, че 193 nm скенери вероятно ще бъдат на разположение само след две години. Такова оборудване все още е в състояние да произвежда усъвършенствани чипове по 5 nm технологичен процес. Полупроводниковата индустрия се е приближила до границите на възможното при понижаване на технологичните стандарти и 193 nm скенерите ще продължат да бъдат авангардно оборудване още дълго време.